API激光干涉儀產(chǎn)品參數(shù)
API激光干涉儀XD Laser的技術(shù)參數(shù):
1.1D激光主要可以測(cè)量定位誤差
2.3D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差(雙向)
3.5D/6D激光可以測(cè)量定位誤差、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角
4.5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型技術(shù)參數(shù):
1) 線性:0.5ppm .
2) 測(cè)量范圍:40米(1D可選80米)
3) 線性分辨力:0.001um.
4) 偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
5) 范圍:800角秒
6) 滾動(dòng)角精度:1.0角秒
7) 直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
8) 直線度范圍:500um
9) 垂直度精度:1角秒
10) 溫度精度:0.2攝氏度
11) 濕度精度:5%
12) 壓力精度:1mmHg